層流罩是能將操作員與產品屏蔽隔離的設備之一,其主要用途是避免產品污染。從潔凈室吸取的空氣,然后采用頂部增壓艙里安裝的風扇通過HEPA過濾垂直穿過操作區(qū)域,為關鍵區(qū)域提供ISO 5(級別100)的單向流空氣。廢氣從下面排出,返回潔凈室區(qū)域。它主要由箱體、風機、高效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成。潔凈層流罩是將空氣以一定地風速通過高效過濾器后,形成均流層,使?jié)崈艨諝獬蚀怪眴蜗蛄?,從而保證了工作區(qū)內達到工藝要求的高潔凈度。
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