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現(xiàn)在由美國(guó)ICAN告訴你微尺度效應(yīng)對(duì)氣體軸承的影響：
與宏觀旋轉(zhuǎn)機(jī)械相似,氣體軸承在微型旋轉(zhuǎn)機(jī)械中也發(fā)揮著巨大的作用,兩者之間的差異比較,動(dòng)力MEMS的相繼開發(fā),對(duì)微型軸承提出了超高速運(yùn)轉(zhuǎn)的要求,根據(jù)軸承知識(shí)得氣體軸承將會(huì)替代干摩擦軸承和電磁軸承成為主要研究熱點(diǎn)。化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、精度高、壽命長(zhǎng),能在各種工況下工作等特點(diǎn),微型氣體軸承的SEM圖像。由于氣體軸承無(wú)需其它介質(zhì)潤(rùn)滑,摩擦阻力小且轉(zhuǎn)速較高,實(shí)用性引人注目,在MEMS其它研究領(lǐng)域也取得廣泛的應(yīng)用,包括有芯片實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的微泵,微驅(qū)動(dòng)器的微齒輪組裝結(jié)構(gòu)。

隨著尺度變小,MEMS氣體軸承的動(dòng)力特性也相應(yīng)地變化。尺度變小給氣體軸承的設(shè)計(jì)、加工制造都帶來(lái)問題:小深寬比使得軸承的承載能力降低,且氣體軸承為不可壓縮性,現(xiàn)代微加工工藝的最小可蝕刻氣隙限制了直徑的縮小,以防止軸承出現(xiàn)動(dòng)態(tài)不穩(wěn)性,同時(shí)由于體-表面積比值增大,軸承的相對(duì)承載能力隨著尺度的減小而增大。ICAN等采用新的分析方法對(duì)軸向流氣體徑向軸承模型進(jìn)行模擬,得出超短靜壓氣體徑向軸承動(dòng)力學(xué)的尺度律,主要包含有靜壓剛度、動(dòng)壓剛度、自然頻率、阻尼比和渦動(dòng)比,并就尺度律進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,結(jié)果表明:自然頻率和阻尼比的實(shí)驗(yàn)測(cè)量值和理論分析較為一致

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