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光柵測微傳感器，是以高精度光柵作為檢測元件的精密測量裝置。與數(shù)顯表配套，組成高精度數(shù)字化測量儀器。可以代替機械式千分表、扭簧比較儀、深度尺、電感測位移和精密量塊，配以適當?shù)霓D(zhuǎn)換器，可將溫度、壓力、硬度、重量等參數(shù)轉(zhuǎn)換為數(shù)字量。用于自動化大

光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應(yīng)速度快的特點。例

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